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白光干涉儀和共聚焦顯微鏡的區(qū)別

更新時間:2023-02-22點擊次數(shù):1195

對于現(xiàn)代愈發(fā)復雜的工藝檢測,諸如半導體、電子封裝及光學加工等產(chǎn)業(yè)中,由于表面微觀輪廓結構的準確性決定著產(chǎn)品的功能和效能,所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件(諸如半導體硅片及器件、薄膜厚度、光學器件表面、其他材料分析及微表面研究),都需要測量斷差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、體積、線寬等。


同為微納米級表面光學分析儀器,白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩(wěn)定性的特點,都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,適用范圍廣,可測多種類型樣品的表面微細結構。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著不同之處。


1、測量原理

SuperViewW1白光干涉儀是以白光干涉技術為原理,實現(xiàn)器件亞納米級表面形貌測量的光學檢測儀器;


VT6000激光共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術為原理,實現(xiàn)器件微納米級表面形貌測量的光學檢測儀。

共焦顯微鏡光路示意圖


2、應用

白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品,尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數(shù)值的準確;(SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜,對于測量物體整個區(qū)域表面情況,還可以使用自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環(huán)反饋,在樣品表面抽取多個區(qū)域測量,就可以快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。)

圖片5.jpg

超光滑透鏡測量

圖片6.jpg

自動拼接功能

大尺寸樣品拼接測量


而VT6000激光共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣,擅長微納級粗糙輪廓的檢測,雖在檢測分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。

圖片8.jpg



激光共聚焦顯微鏡原理及應用


白光干涉儀3D形貌測量之美

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