當(dāng)“精度焦慮"成為制造業(yè)的隱形門(mén)檻：

在半導(dǎo)體光刻中，1nm偏差可能導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢；

在精密機(jī)床加工中，熱變形讓傳統(tǒng)測(cè)量工具“失靈"……  

“高精度、高穩(wěn)定、抗干擾"——工業(yè)超精密制造的三大痛點(diǎn)，如何破局？

PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測(cè)量原理，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，同時(shí)具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

核心優(yōu)勢(shì)

1、高精度

分辨率10nm（可拓展），線性測(cè)量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿(mǎn)足納米級(jí)測(cè)量需求。

環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對(duì)測(cè)量的影響，確保數(shù)據(jù)長(zhǎng)期穩(wěn)定。

2、靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復(fù)雜場(chǎng)景。

3、高穩(wěn)定性與便捷性

激光光源與探頭分離設(shè)計(jì)，3米鎧裝光纖連接，避免設(shè)備散熱干擾，安裝靈活。

體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險(xiǎn)。

4、廣泛適用性

最大量程4米（可拓展），支持動(dòng)態(tài)速度達(dá)2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測(cè)到高速運(yùn)動(dòng)場(chǎng)景。

光纖激光尺比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達(dá)原子層級(jí)（10nm=100個(gè)原子直徑！）  PLR3000 系列光纖激光尺已在多個(gè)客戶(hù)端進(jìn)行精度驗(yàn)證：用差分干涉（DI）探頭對(duì)高精度納米位移臺(tái)進(jìn)行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位置控制精度。