本項(xiàng)目SJ6000激光干涉儀具有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)頻精≤0.04ppm，測(cè)量精度0.5ppm,大測(cè)量距離80米。

SJ6000激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測(cè)量，用于檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進(jìn)行數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度補(bǔ)償。

SJ6000激光干涉儀滿足了我國(guó)各級(jí)計(jì)量院所、精密加工制造、先進(jìn)數(shù)控機(jī)床、精密儀器等領(lǐng)域在高精度和大量程長(zhǎng)度測(cè)量方面的需求，提升了我國(guó)自主的精密激光測(cè)量水平和先進(jìn)計(jì)量檢定裝備的水平。

不忘鑄器初心，牢記圖強(qiáng)使命，中圖儀器持續(xù)投資研發(fā)極小和大尺寸的ODS超精密光學(xué)儀器，為3C電子、泛半導(dǎo)體業(yè)和大型裝備制造業(yè)提供自主可控的關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備。