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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心顯微測(cè)量?jī)x白光干涉儀立式非接觸白光干涉儀
立式非接觸白光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車(chē)間也能正常工作。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1677
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SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。在同等放大倍率下,測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過(guò)重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


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技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱(chēng):光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無(wú)損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取


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優(yōu)點(diǎn)

1. 非接觸高精密測(cè)量,不會(huì)劃傷甚至破壞工件;

2. 測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量;

3. 不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置;

4. 對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。


SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車(chē)間也能正常工作。在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用。

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